等離子廢氣處理工藝是主要應用于廢氣中含有油霧或者白煙,廢氣是低濃度,小分子結構廢氣.等離子的高壓電極能很好地分離廢氣中的固態(tài),液態(tài)顆粒.廢氣濃度不宜過高否則有爆炸風險。等離子廢氣處理還有一個作用就是裂解小分子結構廢氣成分，并產生臭氧氧化小分子廢氣而達到凈化效果。

等離子廢氣處理工藝實際上是一種電催化氧化工藝，設備在電催化總的設計概念下被分成三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)。這三個激發(fā)系統(tǒng)分別是微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)和極板激發(fā)區(qū)，每個激發(fā)區(qū)分別有它特定的功能但在原理上卻又有它相似的地方。

1、等離子廢氣處理工藝之微波激發(fā)區(qū)

等離子廢氣處理工藝一般有3至9個微波激發(fā)單位，具體的數量根據被處理廢氣風量的不同而不同。微波激發(fā)區(qū)因頻率高和功率低而被作為設備的初頻激發(fā)源，在處理過程中能夠極大的提高等離子體區(qū)和極板區(qū)的激發(fā)能力和處理效果。

2、等離子廢氣處理工藝之等離子體激發(fā)區(qū)

等離子體激發(fā)區(qū)是等離子廢氣處理工藝的核心技術，一般配備有40至240支充有特殊氣體的無極管。等離子體激發(fā)區(qū)借助低氣壓的無極燈作為該區(qū)域的激發(fā)體，可以最大限度地在該區(qū)域實現(xiàn)低溫等離子體區(qū)。

3、等離子廢氣處理工藝之極板區(qū)

根據需要處理廢氣的風量等離子廢氣處理工藝的極板區(qū)電壓可分為12KV、16KV以及42KV。極板區(qū)加以足夠高的電壓后在風機抽送的作用下，在常壓或者接近常壓的條件下大部分的粒子能夠實現(xiàn)低溫等離子體的激發(fā)。

等離子廢氣處理工藝應用范圍：

1、等離子廢氣處理工藝適用于實驗室廢氣處理、食品廠廢氣處理、塑料廠廢氣處理、瀝青廢氣治理、制藥廢氣處理、油漆漆霧廢氣治理、印刷廠廢氣處理和涂料等行業(yè)產生的揮發(fā)性有機廢氣，相比于傳統(tǒng)的廢氣處理方法它具備無需再生處理原料、無需專人負責、不產生二次污染以及更換和維護保養(yǎng)方便的優(yōu)點。

2、等離子廢氣處理工藝適用于處理低濃度的VOCs廢氣（一般低于200mg/m3為佳），并且應保證廢氣的濃度遠低于爆炸下限以確保不存在爆炸危險。

3、等離子廢氣處理工藝對于廢氣的平均處理凈化效率可以達到68%以上，適用于苯、甲苯、甲醛、氨氣、硫化氫、二甲苯、丙烯腈、苯酚、丙烯醛、乙醛、三甲胺、甲硫氫、苯乙烯、二硫化碳、二甲基二硫、甲硫醚、甲硫醇、非甲烷總烴等有機廢氣等氣體的處理。

等離子廢氣處理工藝基本原理：

等離子廢氣處理工藝集低溫等離子體、微波放電和極板放電于一體，設備在放電的過程中雖然電子的溫度很高，但是溫度很低的重粒子卻使整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以該設備才被稱為低溫等離子體凈化設備。

等離子廢氣處理工藝在外加電壓達到氣體的放電電壓時，會將氣體擊穿并產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。設備利用這些活性粒子與廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。

詳細過程為異味氣體從氣體收集系統(tǒng)收集后進入等離子設備，氣體分子在高能電子的作用下受激發(fā)造成帶電粒子或分子間的化學鍵被打斷。與此同時空氣中的水和氧氣在高能電子的轟擊下也會產生活性氧和OH自由基等強氧化性物質，這些性物質也會與氣體分子進行反應并使其分解從而促進異味消除。經過等離子廢氣處理工藝凈化后的氣體經排氣筒高空達標排放。等離子廢氣處理工藝一般和離心廢氣預處理工藝、活性炭吸附廢氣工藝、廢氣處理噴淋塔凈化等工藝結合使用方能達到理想處理效果。